齐鲁工业大学材料科学与工程部ZEISS高分辨率扫描电子显微镜

一、仪器名称

中文名称：场发射扫描电子显微镜

英文名称：Field Emission Scanning Electron Microscope

二、型号：ZEISS GEMINI 500

三、生产厂家：德国蔡司公司ZEISS

四、仪器简介：

ZEISS Gemini 500扫描电子显微镜是一台全功能的场发射扫描电子显微镜（FE-SEM），可以高分辨率、高衬度和高信噪比使用二次电子和背散射电子进行In-lens检测，即使要求苛刻的非导电样品也能获得清晰的图像，可对多种样品进行衬度和低电压成像。同时装有布鲁克X射线能谱仪，可广泛应用于微区形貌和成分分析。

五、仪器主要特点及技术指标：

1．分辨率： ≤0.6 nm@15KV （二次电子），≤1.1nm@1kV（二次电子，无任何特殊模式）； ≤1.2nm@500V；

2. 放大倍率：20-2,000,000

, 根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需任何模式更换；

3. 电子枪：肖特基热场发射电子枪；

4. 加速电压或着陆电压范围：0.02kV ～ 30 kV，步进10V，连续可调；

5. 探针电流：最大电流≤100nA；

6. 镜筒内具有静电透镜设计，可对铁磁性材料进行高分辨成像；

7. 可容纳最大样品尺寸≥200mm，最大样品高度≥60mm；

8. 五轴优中心马达驱动样品台，移动最大范围指标：X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm，双向倾斜，倾斜范围-3°-70°，旋转≥360°（连续旋转）；

 9. 样品室有独立的背散射电子探测器（EsB）；

 10.  样品室内二次电子探测器（SE）；

11. 安装在镜筒内正光轴上超高分辨In-Lens二次电子探测器（In-Lens SE）；

12. 配备气锁（air lock），更换样品抽真空时间更短；

13. 能谱仪 ≥60 mm²活性区面积

六、仪器主要功能及其用途：

1. 针对材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料、有机材料）、化学科学、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、刑事侦察、工业生产等领域进行材料的微观形貌观察。（液体样品必须充分烘干后才可进行测试）

2. 针对材料进行实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和点、线扫描分布测量。

七、仪器图片

八、应用实例

1. 形貌分析：

某课题组制备金属银纳米结构，需要对其微观形貌结构进行观察，从而验证该银纳米材料在催化领域具有良好的应用前景。我们采用不同放大倍数，不同扫描模式以及能谱测试针对该样品进行测试，结果如下：

1.1 不同放大倍数观察

1.2 不同扫描模式下观察

2. EDS元素定性分析：

2.1点扫描

2.2 线扫描

2.3 面扫描

注：文章转载于齐鲁工业大学材料科学与工程学部《ZEISS G500超高分辨率扫描电子显微镜》。